下照式微聚焦多準(zhǔn)型，搭載*EFP算法軟件和微光聚集技術(shù)，配合切換準(zhǔn)直器在檢測各微小及凹凸面樣品時檢出限更低，儀器壽命更長，性能更穩(wěn)定。

XTU-4C是一款專業(yè)性能型鍍層測厚儀/膜厚測試儀/光譜測厚儀，下照式微聚焦多準(zhǔn)型設(shè)計，搭載*EFP算法軟件和微光聚集技術(shù)，配合切換準(zhǔn)直器在檢測各微小及凹凸面樣品時檢出限更低，儀器壽命更長，性能更穩(wěn)定。

微聚焦加強(qiáng)型X射線裝置：可測試各類極微小的樣品，即使檢測面積為0.003mm2的樣品也可輕松、精準(zhǔn)檢測

變焦裝置及位置補(bǔ)償算法：可對各種異性凹槽進(jìn)行檢測，凹槽深度測量范圍可達(dá)0-30mm

自主研發(fā)EFP算法：多層多元素、各種元素及有機(jī)物，甚至有同種元素在不同層也可精準(zhǔn)測量

微米級移動精度：高精密XY移動滑軌，實現(xiàn)多點(diǎn)位、多樣品的精準(zhǔn)位移和同時檢測，移動精度可達(dá)5um，輕松應(yīng)對極微小樣品檢測

*解譜技術(shù)：減少能量相近元素的干擾，降低檢出限